半导体，液晶设备的搬运震动检测设备介绍

Mircostone 8通道小型无线运动记录仪MVP-RF8-JC 半导体，液晶设备的搬运震动检测 马达和泵体的异常震动原因检测分析

用途：

1. 半导体晶圆和液晶面板输送时的振动监测

2. 电机马达、泵体的振动测量

特征：

（1） 在触发测量模式下，在任意时间测量可以自动启动！ 适合机器人等测量确定频率时间！

（2） 采样周期 0.05msec（采样频率 20kHz）！

（3） 作为外部传感器，3轴加速度最多可连接两个传感器 MA3 系列

（4） 分辨率为 10 位→ 12 位

（5） 连续操作时间约为 10 小时→约 24 小时。

设备检测优点

1. 在触发测量模式下，可以在任何时间自动开始测量。
   此功能非常适合测量工业机器人和运输设备中的节拍时间振动。

2. 实现0.05毫秒的采样周期！
   （采样频率 20kHz，在记录模式下）

3. 最多可连接两个 MA3 系列 3 轴加速度计作为外部传感器。
   您可以选择可以测量的宽范围。