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thermocera基板加热的加热器介绍
更新时间:2023-03-24      阅读:506

thermocera基板加热的加热器介绍

用于PVD(气相沉积/溅射)和CVD等真空薄膜实验的“超高温基板加热加热器"
具有优异的均匀性,温升特性和可控性,并且易于操作。

  • BH加热器:用于大学研究机构。 采用康塔尔和C/C复合材料。 外壳和防护罩作为标准设计,以实现较短的交货时间和低廉的价格。

  • VH加热器:采用SiC3,TiC3涂层,PG / PBN扩大了应用范围。 与BH一样,零件和材料是标准化的,以实现较短的交货时间和低廉的价格。

  • HT加热器:为超高温区域定制的加热器。 此外,即使在恶劣的条件下,也可以实现稳定均匀的加热。 我们每次都会根据您的要求进行设计。

  • SH加热器:由于气密结构,材料和沉积物不会渗透到内部,并且可以长时间进行稳定的加热。 推荐用于 CVD 实验。


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BH基板加热加热器

PVD、退火、高温样品台等
Φ1英寸、Φ2英寸、Φ4英寸

 

  • 康塔尔(最高 800°C)

  • C/C 复合材料 (最高1600°C)

  • 钽(最高1200°C)


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VH基板加热加热器

PVD,高压/特高压,惰性/反应气体
Φ2英寸,至Φ6英寸

 

  • 碳化硅涂层(最高 3°C)

  • TiC3涂层(最高1600°C)

  • PG/PBN(最高1200°C)


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HT基板加热加热器

定制加热器
,用于超高温Φ1英寸至Φ6英寸

 

  • C/C 复合材料 (最高1700°C)

  • 碳化硅涂层(最高 3°C)

  • TiC3涂层(最高1900°C)

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    SH基板加热加热器

    CVD,高压/特高压,惰性和反应性气体
    Φ1英寸至Φ6英寸

     

    • 镍铬线铬镍铁合金板(最高 850°C)

    • 钨丝 BN 板/钼盖 (最高1100°C)


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    HS 热舞台

    PVD,高压/超高压,惰性/反应气体
    Φ2英寸至Φ8英寸

     

    • 有关加热器部件,请参阅 VH、HT


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    昆士兰灯加热加热器

    卤素灯加热器单元

    Φ4英寸或Φ6英寸

     

    • PVD 灯加热单元

    • 优异的升温特性和均匀性。



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