超高温台式多气氛实验炉TE系列的特点

超高温台式多气氛实验炉[热边]最高2000°C

这是一款台式超高温多气氛实验炉，可处理氮气、氧气、氦气、氩气、氢气等各种气氛。

TE系列超高温台式多气氛实验炉“热边"电炉从抽真空、吹扫到排气的操作是PLC半自动式的。 没有手动打开和关闭阀门等复杂操作，并且可以通过触摸面板进行集中管理。

台式紧凑，您可以有效利用实验室的有限空间。

特征

三种类型的炉子加热器/绝缘材料扩大了碳炉的应用范围。

• C/C复合加热器

• SiC3（碳化硅）涂层加热器

• TiC3（碳化钛）涂层加热器

多功能功能集成在紧凑的机身中

• 节省空间：889（阔）x 503（深）x 629（高）mm

• 圆柱形加热器（用于坩埚）、平面加热器（用于晶圆烧制）

• 联锁（冷却水、腔室表面温度/加热器过温、真空度、腔室打开/关闭）

• PLC半自动操作：（抽真空/吹扫x 3循环排气）

• 观察视口（可选）

编程温度控制器、触摸屏 HMI、数字真空计和加热器断路器软件等显示器紧凑地安装在前操作面板上。
● 温度控制器：Eurotherm“nanodaq"或RKC PF900 ● 数字真空计：MKS微型皮拉尼压力计
● 触摸屏：西门子SIMATEC HMI（或三菱）