关闭

当前位置：首页  >  技术文章  >  valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

valcom传感器在半导体和电子相关应用示例
更新时间：2023-03-22      阅读：802

valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

管理各种压力（供气/排气、大气压回流、泄漏、清洁）、真空压力和各种成型载荷（表面、抛光、装配）。

各种设备的压力监控（例如蚀刻/CVD等）

各种设备的压力监控（例如蚀刻/CVD等）

  • 1供气压力监测

  • 2确认燃气面板管道泄漏

  • 3确认真空到达腔室

  • 4确认腔室内恢复到大气压

  • 5检查涡轮泵切换的真空压力

  • 6废气处理设备压力监测

压力传感器

  • VSST（SF/RR/WT/WF）

  • HS1/HV1

  • VSHS/VSHT

  • VCCP

指示器

  • 缤彩 F3 （过程输入）

  • VSM3B

  • VMM7（进程输入）

  • VMM6（进程输入）

纯水压力监测

纯水压力监测

压力传感器

  • VESV/VESI

  • 维西姆□□A

  • VPRF （过程输出）

指示器

  • 缤彩 F8 （过程输入）

  • VSM3B

  • VMM7（进程输入）

  • VMM6（进程输入）

半导体前端工艺抛光期间的负载控制

半导体前端工艺抛光期间的负载控制

负荷

  • VLS

  • VLSS-C

指示器

  • 华彩F3（应变片输入）

  • VGM

  • VGM2A/B

后处理成型期间的负载监控

后处理成型期间的负载监控

负荷

  • VLC-G811

  • VLC-G510A

  • VU93

指示器

  • 华彩F3（应变片输入）

  • VGM

  • VGM2A/B

  • VGM4

各种圆盘表面抛光期间的负载控制

各种圆盘表面抛光期间的负载控制

负荷

  • VLS

  • VLSS-C

指示器

  • 华彩F3（应变片输入）

  • VGM

  • VGM2A/B

各种电子元件的压力负载监控

各种电子元件的压力负载监控

负荷

  • VLC-G811

  • VLC-G510A

  • VU93

指示器

  • VLGM4

  • VGM

  • VMM7 （应变片输入）

  • VMM6 （应变片输入）



电话 询价

产品目录