液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍

表面缺陷检测设备（一般）

应用流传已久的魔镜(透光镜)原理，达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。

非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。

1、即时显示所有表面状态。

2、光学系统对应等级１

3、学系统无须维护。

4、根据检测内容，可修正检测灵敏度。

询问此产品的型录

用途

 镜面晶圆的表面检测

 滑线检测

 玻璃基板检测

 其他镜面基板检测
 

选配

 电动马达检测平移台

 自动判定缺陷影像处理装置

 影像列印机

 搬运装置